伺服油缸是由步进电机、三位四通伺服阀、机械反应安装丝扛副和油杠组成。当步进电机得到一个脉冲信号时其输出轴旋转1.5或3度角度，伺服阀阀芯带动丝扛同时旋转，阀芯挪动并启齿换向油缸输出压力油，活塞挪动并带动丝杠反向旋转使阀芯退回原位，伺服阀复中位中止输出压力油。此时油缸挪动0.1或0.2mm行程，油缸行进的位移量和速度是依据电脉冲的给定值决议。

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高频宽电液伺服作动器由高强度实心材料一体式加工而成，活塞直径以1mm为单位可供用户自由选择。采用间隙密封或流体静压支撑密封(静压支撑的压力通过缸体内部自动分配，不需单独外部给油)额定压力为320bar，间隙密封静压支承生产厂家，频率可达1000hz，额定速度为4m/s(可定制40m/s)，低摩擦缸静压支承，几乎无摩擦，泄露小，静压支承，定位精度及重复精度高，低摩擦缸静压支承生产厂家，---。

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